Stylus Profilometer: Thiết bị đo lường bề mặt tiếp xúc siêu chính xác
Nguyên lý hoạt động
Máy đo biên dạng kim hoạt động thông qua tiếp xúc vật lý trực tiếp giữa đầu dò kim cương và bề mặt mẫu. Khi kim di chuyển trên bề mặt, các đỉnh và thung lũng cực nhỏ tạo ra các dịch chuyển theo phương thẳng đứng, được chuyển đổi thành tín hiệu điện thông qua các cảm biến. Các tín hiệu này được xử lý thông qua cầu đo, khuếch đại, chỉnh lưu nhạy pha và lọc để tạo ra tín hiệu đầu ra biến thiên chậm tỷ lệ thuận với chuyển động của kim, từ đó tái tạo địa hình bề mặt.
Tính năng của nhạc cụ
1. Độ chính xác cao
Độ phân giải dọc dưới angstrom (≤0,1 nm)
Đo lường sự thay đổi chiều cao từ thang đo micron đến nanomet
Thu thập dữ liệu toàn diện: địa hình, độ nhám, độ gợn sóng
2. Độ ổn định đặc biệt
Độ lặp lại cao (σ < 0,5% @ bước 1μm)
Các phép đo có thể tái tạo để có được các chi tiết địa hình tinh tế
3. Hoạt động thân thiện với người dùng
Hệ thống dẫn đường màu tùy chọn
Công nghệ đầu dò từ tính giúp thay thế đầu nhanh chóng (<30 giây)
Chức năng tự động cân bằng và phần mềm trực quan với các mô-đun hiệu chuẩn
4. Khả năng đa chức năng
Đo chiều cao bậc, độ dày màng, độ nhám, ứng suất, v.v.
Hỗ trợ chế độ quét đa vùng và 3D
Phân tích thống kê SPC tích hợp (ví dụ: tính toán Cp/Cpk)
Các lĩnh vực ứng dụng
Ngành công nghiệp bán dẫn
Đo chiều cao bậc màng mỏng (lớp PVD/CVD)
Đặc tính cấu hình photoresist
Định lượng tốc độ khắc
Giám sát CMP (Đánh bóng cơ học hóa học)
Quang điện
Phân tích độ dày lớp phủ cho pin mặt trời
Đo chiều cao bước sau khi khắc
Tối ưu hóa hiệu suất của pin perovskite/CIGS
