40px
80px
80px
80px
Công ty TNHH Công nghệ thông minh Lecheng (Tô Châu)
Điện thoại
+86-17751173582
Công ty TNHH Công nghệ thông minh Lecheng (Tô Châu)
Điện thoại
+86-17751173582Hệ thống ủ laser wafer có thiết kế mô-đun với các nguồn laser có thể cấu hình (308nm/532nm/1064nm) và bàn di chuyển khí nén có độ chính xác cao (độ chính xác định vị ±1μm). Hệ thống nhỏ gọn 2m x 2m tương thích với phòng sạch tích hợp giám sát nhiệt độ theo thời gian thực và điều chỉnh tiêu cự tự động để kiểm soát quy trình một cách nhất quán.

Ủ chính xác: Mật độ năng lượng có thể điều chỉnh 0,1-5J/cm² với khả năng kiểm soát nhiệt độ ±1℃
Thông lượng cao: Xử lý 100-500 trang web mỗi giây (nhanh hơn RTP gấp 100 lần)
Xử lý chọn lọc: Cho phép ủ ở mức độ bóng bán dẫn đơn
Hư hỏng không do nhiệt: Xung cực ngắn tránh làm nóng chất nền
Kiểm soát thông minh: Tối ưu hóa tham số dựa trên AI và phát hiện lỗi
Thiết bị logic tiên tiến: Ủ nguồn/thoát cho các nút 7nm/5nm
Bộ nhớ flash NAND 3D: Ủ tiếp xúc cho cấu trúc bộ nhớ dọc
Thiết bị điện: Ủ SiC/GaN để cải thiện khả năng di động
Sản xuất CIS: Nâng cao hiệu suất ở cấp độ pixel
Đóng gói nâng cao: Ủ kết nối cho IC 2.5D/3D
Dữ liệu hiệu suất chính:
Tham số | Đặc điểm kỹ thuật |
|---|---|
Kích thước wafer | 4-12 inch |
Bước sóng | Có thể lựa chọn 308/532/1064nm |
Mật độ năng lượng | 0,1-5J/cm² |
Độ chính xác định vị | ±1μm |
Thông lượng | 100-500 trang web/giây |
Kiểm soát nhiệt độ | ±1℃ |
Khả năng điều khiển quy trình tiên tiến của hệ thống khiến nó trở nên lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn thế hệ tiếp theo, mang lại hiệu suất thiết bị vượt trội trong khi vẫn duy trì năng suất và thông lượng cao.
Chuyển giao laser cực kỳ chính xác cho mảng Micro LED. Sản xuất hàng loạt tốc độ cao với độ chính xác đến từng micron. Quy trình không tiếp xúc đảm bảo không gây hư hại. Thiết kế mô-đun cho khả năng mở rộng sản xuất linh hoạt.
HơnLớp phủ laser có độ chính xác cao giúp sửa chữa kim loại bền lâu. Quy trình thân thiện với môi trường giúp giảm thiểu chất thải và tiêu thụ năng lượng. Hệ thống điều khiển tự động đảm bảo lớp phủ đồng đều và chất lượng cao. Được các ngành công nghiệp toàn cầu tin cậy về độ chính xác và độ tin cậy.
HơnHàn chính xác để sản xuất pin EV hiệu suất cao. Hệ thống hoàn toàn tự động giúp tăng tốc độ và giảm thiểu lỗi. Thiết kế mạnh mẽ đảm bảo hiệu suất sản xuất ổn định và lâu dài. Giải pháp tùy chỉnh cho nhiều loại và kích cỡ pin khác nhau.
HơnPhương pháp vệ sinh bằng laser thân thiện với môi trường thay thế phương pháp xử lý bằng hóa chất. Làm sạch chính xác mà không làm hỏng vật liệu cơ bản. Thiết kế nhẹ giúp dễ dàng vận hành ở mọi nơi. Ít bảo trì với nguồn laser sợi quang có tuổi thọ cao.
HơnCông nghệ nung chảy bằng laser chính xác tạo ra các bộ phận kim loại phức tạp theo từng lớp. Kiểm soát vòng kín đảm bảo chất lượng linh kiện có mật độ cao đồng đều. Khả năng xử lý nhiều loại vật liệu như titan, thép và hợp kim.
HơnĐiều khiển đồng thời 5 trục cho phép gia công các chi tiết 3D phức tạp. Bàn quay tích hợp xử lý các bề mặt cong lớn. Hệ thống tránh va chạm thông minh đảm bảo sản xuất không bị gián đoạn.
Hơn40px
80px
80px
80px
Công ty TNHH Công nghệ thông minh Lecheng (Tô Châu)
Điện thoại
+86-17751173582