40px
80px
80px
80px
Công nghệ thông minh Lecheng Tô Châu
Điện thoại
+86-17751173582Hệ thống ủ laser wafer được thiết kế cho các dự án gia công laser công nghiệp yêu cầu kiểm soát chùm tia ổn định, độ lặp lại quy trình và tích hợp đáng tin cậy với các yêu cầu sản xuất. Đối với việc lựa chọn máy khắc laser, người mua nên so sánh loại vật liệu, độ chính xác gia công, mức độ tự động hóa, năng suất, khả năng tiếp cận bảo trì và hỗ trợ sau bán hàng trước khi xác nhận cấu hình thiết bị cuối cùng.
Các giải pháp laser liên quan bao gồmMáy in 3D kim loại laser,Súng làm sạch cầm tay bằng laser,Hệ thống xử lý laser đồng thời 5 trục độ chính xác caoCác tham chiếu nội bộ này giúp người dùng so sánh các hệ thống tương tự và dễ dàng chuyển đổi giữa các trang về thiết bị làm sạch, cắt, khắc, đánh dấu, hàn và thiết bị laser quang điện.
Hệ thống ủ laser cho wafer có thiết kế dạng mô-đun với các nguồn laser có thể cấu hình (308nm/532nm/1064nm) và bàn di chuyển bằng ổ trục khí nén độ chính xác cao (độ chính xác định vị ±1μm). Hệ thống nhỏ gọn 2m×2m, tương thích với phòng sạch, tích hợp chức năng giám sát nhiệt độ theo thời gian thực và điều chỉnh tiêu cự tự động để kiểm soát quy trình nhất quán.

Ủ nhiệt chính xác: Mật độ năng lượng điều chỉnh được từ 0,1-5J/cm² với khả năng kiểm soát nhiệt độ ±1℃.
Hiệu suất cao: Xử lý 100-500 trang web mỗi giây (nhanh hơn RTP 100 lần)
Xử lý có chọn lọc: Cho phép ủ ở cấp độ transistor đơn.
Hư hỏng không do nhiệt: Xung cực ngắn tránh làm nóng chất nền.
Điều khiển thông minh: Tối ưu hóa thông số dựa trên trí tuệ nhân tạo và phát hiện lỗi.
Các thiết bị logic tiên tiến: Ủ nhiệt cực nguồn/cực thoát cho các nút 7nm/5nm
Bộ nhớ Flash NAND 3D: Ủ tiếp xúc cho cấu trúc bộ nhớ dọc
Thiết bị điện tử công suất: Ủ SiC/GaN để cải thiện khả năng di động
Sản xuất CIS: Nâng cao hiệu năng ở cấp độ pixel
Công nghệ đóng gói tiên tiến: Ủ nhiệt cho các mối nối liên kết của IC 2.5D/3D
Các chỉ số hiệu suất chính:
Tham số | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
Kích thước wafer | 4-12 inch |
Bước sóng | Có thể lựa chọn 308/532/1064nm |
Mật độ năng lượng | 0,1-5J/cm² |
Độ chính xác định vị | ±1μm |
Thông lượng | 100-500 trang web/giây |
Kiểm soát nhiệt độ | ±1℃ |
Khả năng kiểm soát quy trình tiên tiến của hệ thống này làm cho nó trở nên lý tưởng cho việc sản xuất chất bán dẫn thế hệ tiếp theo, mang lại hiệu suất thiết bị vượt trội đồng thời duy trì năng suất và sản lượng cao.







40px
80px
80px
80px
Công nghệ thông minh Lecheng Tô Châu
Điện thoại
+86-17751173582